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產品名稱: 英國愛德華真空分子渦輪泵STP-L301C
產品時間: 2019-04-09
產品型號: STP-L301C
產品特點: Edwards 的防腐蝕 STP-L301(C) 用於電子顯微鏡和半導體應用。Edwards 的轉子技術可實現的性能,大的製程靈活性。英國愛德華真空分子渦輪泵STP-L301C

英國愛德華真空分子渦輪泵STP-L301C 的詳細介紹

英國愛德華渦輪分子真空泵STP-L301C ISO100 入口

概述

Edwards 的防腐蝕 STP-L301(C) 用於(yu) 電子顯微鏡和半導體(ti) 應用。Edwards 的轉子技術可實現的性能,大的製程靈活性。英國愛德華真空分子渦輪泵STP-L301C
  

STP-L301(C) 已經由科學儀(yi) 器、半導體(ti) 和磁介質行業(ye) 的大型設備製造商投入使用,並得到了認可。英國愛德華真空分子渦輪泵STP-L301C

應用

  • 金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶矽等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源,射束線泵送端點站
  • MBE
  • 擴散
  • 光致抗蝕劑脫模
  • 晶體/晶膜生長
  • 晶片檢查
  • 負載鎖真空腔
  • 科學儀器:表麵分析、質譜分析、電子顯微鏡
  • 高能物理:射束線、加速器
  • 放射線應用:融合係統、回旋

 

功能和優勢

良好的轉子技術  

  • 大的製程靈活性

  • 無油

  • 低振動

  • 高度可靠

  • 免維護

良好的控製器設計  

  • 自動調整

  • 自行診斷功能

  • 直流電機驅動

  • 無電池運行

緊湊型設計  

  • 占地麵積小

  • 半機架控製器

低振動  

  • 內置振動隔離係統提供了優於 STP301C 和外部隔離器的性能。

     

    技術數據

    入口法蘭ISO100,CF100
    出口KF25
    吹掃口KF10
    抽速 
      N2260 ls-1
      H2290 ls-1
    壓縮比 
      N2>108
      He5 x 105
      H22 x 104
    加熱時的極限壓力(VG/ISO 法蘭)6.5 x 10-6 Pa
     (5 x 10-8 Torr)
    加熱時的極限壓力(ICF 法蘭)10-8 Pa
     (10-10 Torr)
    大允許進氣口壓力(環境空氣冷卻)6.7 x 10-2 Pa
     (5 x 10-4 Torr)
    大連續出口壓力(環境空氣冷卻)13 Pa
     (0.1 Torr)
    額定速度48000 rpm
    啟動時間3 min
    高入口法蘭溫度120 °C
    輸入電壓100 至 120 (± 10) V 交流或
     200 至 240 (± 10) V 交流
    啟動時的功耗0.55 kVA
    泵重量13 kg
    控製器重量7 kg

     蘇州昆山太倉(cang) 無錫上海張家港吳江常熟英國愛德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

    鎮江常州揚州泰州南通南京啟東(dong) 海門如皋英國愛德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

    海門海安如東(dong) 宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州英國愛德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

    溫州台州衢州紹興(xing) 金華寧波餘(yu) 姚福州廈門英國愛德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C
    泉州深圳廣州珠海廣州惠州通州桂林南寧英國愛德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

    南昌贛州武漢成都重慶荊州太原蘭(lan) 州英國愛德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

    烏(wu) 魯木齊石家莊天津長春吉林濟南英國愛德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

    青島威海德州連雲(yun) 港昆明九江安慶英國愛德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

    一、進口真空泵維修:
    1、BOC EDWARDS(愛德華):GV係列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP係列(IQDP80)、QDP係列、DP係列、E1M係列、E2M係列、EH係列、QMB係列、RV係列、ESDP12、GVSP30等。
    2、ALCATEL(阿爾卡特):ADS係列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP係列(ADP122)、ACP係列(ACP28、ACP40)、RHV係列、SD係列、C1係列、C2係列、I係列、H1係列、A係列等。
    3、LEYBOLD(萊寶):SV係列(SV65B等)、SC係列、DIVAC係列、DK係列、DRYVAC係列、WS係列、SP係列、TRIVAC係列、WH/WHU係列等
    4、EBARA(易巴拉):A係列、AV係列、AW係列、AA係列、AAS係列、X係列等。
    5、KASHIYAMA:MU係列、SDE係列、SDL係列、KMB係列、NeoDRY係列等。
    6、ORION(好利旺):KRX係列、CBX係列、KRF係列、KHF係列、KHA係列、KRA係列、KHH係列等。
    7、BECKER(貝克):U係列、VT係列、KVT係列、VTLF係列、T係列、DVT係列、DVTLF係列等。
    8、RIETSCHLE(裏其樂(le) ):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵係列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ幹式旋片真空/壓縮泵係列、VL/DT/KT幹式旋片真空/壓縮泵係列等。
    9、ULVAC(愛發科):GLD油旋片真空泵係列、VDN/VSN油選片真空泵係列、PVD油旋片真空泵係列等。
    10、VIRIAN(瓦裏安):DS/HS/SD/CD係列油旋片真空泵係列、TS/DS幹式真空泵係列等。
    11、IWATA(岩田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
    12、HANBELL(漢鍾)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

    二、進口真空泵配件銷售:
    1、類型:真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控製板等。
    2、品牌:BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(裏其樂(le) )、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦裏安)等。

    三、進口真空油銷售:
    品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。

     

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