氦檢漏上門服務采用的氦檢漏試驗裝置由氦質譜檢漏儀(yi) 、抽真空機組、真空表、壓力表等設備和儀(yi) 器儀(yi) 表所組成。氦質譜儀(yi) 主要有進樣係統、離子源、質量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。

Edwards APG100 有源皮拉尼真空計包括標準型和防腐蝕型，測量範圍分別為(wei) 從(cong) 大氣壓到 10-3 或 10-4。這種真空計與(yu) 所有 Edwards TIC 儀(yi) 表控製器兼容，*符合 RoHS 指令。英國愛德華APG100 有源皮拉尼真空計