英國愛德華渦輪分子真空泵STPA1603C ISO200F 進氣口

概述

小巧而強大的 Edwards STPA1603C 渦輪分子泵采用 Edwards 良好的轉子技術進行設計。它提供*的吞吐量、高的可靠性和的性能，滿足新一代半導體(ti) 製程的需要。其半機架的控製器和緊湊型設計可節省可觀的空間，而其良好的沉積減少係統提高了可靠性和性能。STPA1603C 已經在的 200 mm 刻蝕工具上得到了證明，也能夠滿足新一代 300 mm 氧化物腐蝕製程的需要。愛德華STPA1603C STPA2203C渦輪分子真空泵

應用

• 金屬（鋁）、鎢和電介質（氧化物）以及多晶矽等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
• 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
• 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺射
• 離子注入源，射束線泵送端點站
• MBE
• 擴散
• 光致抗蝕劑脫模
• 晶體/晶膜生長
• 晶片檢查
• 負載鎖真空腔
• 科學儀器：表麵分析、質譜分析、電子顯微鏡
• 高能物理：射束線、加速器
• 放射線應用：融合係統、回旋愛德華STPA1603C STPA2203C渦輪分子真空泵

  功能和優勢

  良好的轉子設計  

• 改進的性能

• 更高的氣體(ti) 吞吐量

• 高度可靠

• 免維護

• 可用於(yu) 嚴(yan) 苛製程

• 5 軸磁懸浮係統  

• 無汙染

• 低振動

• 防腐蝕  

• 可用於(yu) 嚴(yan) 苛製程

• 使用壽命延長

• 緊湊型設計  

• 占地麵積小

• 半機架控製器

• 良好的控製器設計 

• 自動調整

• 自行診斷功能

• 直流電機驅動

• 無電池運行

  技術數據

  入口法蘭	ISO200F
  出口	KF40
  吹掃口	KF16
  水冷卻接頭	PT1/4
  抽速
  N2	1600 ls-1
  H2	1200 ls-1
  壓縮比
  N2	>108
  H2	>7 x 103
  加熱時的極限壓力	10-7 Pa
  大允許前級壓力	266 Pa
  	(2 Torr)
  大氮氣吞吐量	2500 sccm
  額定速度	36500 rpm
  啟動時間	7 分鍾
  固定位置	任意
  水冷卻流量	2 lmin-1
  溫度	5-25 °C
  壓力	0.3 MPa
  推薦的吹掃氣體流量	20 sccm
  輸入電壓	200 至 240 (± 10) V 交流
  功耗	0.85 kVA
  泵重量	35 kg
  控製器重量	9 kg

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如東(dong) 宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州台州衢州愛德華STPA2203C、STPA1603C 渦輪分子真空泵

紹興(xing) 金華寧波餘(yu) 姚福州廈門泉州深圳廣州珠海愛德華STPA2203C、STPA1603C 渦輪分子真空泵

廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶愛德華STPA2203C、STPA1603C 渦輪分子真空泵

荊州太原蘭(lan) 州烏(wu) 魯木齊石家莊天津長春吉林愛德華STPA2203C、STPA1603C 渦輪分子真空泵

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一、進口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV係列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP係列(IQDP80)、QDP係列、DP係列、E1M係列、E2M係列、EH係列、QMB係列、RV係列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS係列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP係列(ADP122)、ACP係列(ACP28、ACP40)、RHV係列、SD係列、C1係列、C2係列、I係列、H1係列、A係列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV係列(SV65B等)、SC係列、DIVAC係列、DK係列、DRYVAC係列、WS係列、SP係列、TRIVAC係列、WH/WHU係列等
4、EBARA(易巴拉)：A係列、AV係列、AW係列、AA係列、AAS係列、X係列等。
5、KASHIYAMA：MU係列、SDE係列、SDL係列、KMB係列、NeoDRY係列等。
6、ORION(好利旺)：KRX係列、CBX係列、KRF係列、KHF係列、KHA係列、KRA係列、KHH係列等。
7、BECKER(貝克)：U係列、VT係列、KVT係列、VTLF係列、T係列、DVT係列、DVTLF係列等。
8、RIETSCHLE(裏其樂(le) )：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵係列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ幹式旋片真空/壓縮泵係列、VL/DT/KT幹式旋片真空/壓縮泵係列等。
9、ULVAC(愛發科)：GLD油旋片真空泵係列、VDN/VSN油選片真空泵係列、PVD油旋片真空泵係列等。
10、VIRIAN(瓦裏安)：DS/HS/SD/CD係列油旋片真空泵係列、TS/DS幹式真空泵係列等。
11、IWATA（岩田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鍾）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控製板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(裏其樂(le) )、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦裏安)等。

三、進口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。