英國愛德華渦輪分子真空泵STPH301C 

概述

Edwards 的高性能 STPH301C 渦輪分子泵是為(wei) 嚴(yan) 苛的半導體(ti) 應用而設計的。這種泵經過實踐檢驗的可靠性和性能可以實現大的製程靈活性。STPH301C 已經由半導體(ti) 和磁介質行業(ye) 的大型設備製造商投入使用，並得到了認可。愛德華STPH301C STPH451C渦輪分子真空泵

應用

• 金屬（鋁）、鎢和電介質（氧化物）以及多晶矽等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
• 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
• 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺射
• 離子注入源，射束線泵送端點站
• MBE
• 擴散
• 光致抗蝕劑脫模
• 晶體/晶膜生長
• 晶片檢查
• 負載鎖真空腔 
• 科學儀器：表麵分析、質譜分析、電子顯微鏡
• 高能物理：射束線、加速器
• 放射線應用：融合係統、回旋

  功能和優勢

  良好的轉子技術  

• 更高的氣體(ti) 吞吐量

• 大的製程靈活性

• 無油

• 低振動

• 高度可靠

• 免維護

• 可用於(yu) 嚴(yan) 苛製程

• 使用壽命延長

• 良好的控製器設計  

• 自動調整

• 自行診斷功能

• 直流電機驅動

• 無電池運行

• 緊湊型設計  

• 占地麵積小

• 半機架控製器

• 5 軸磁懸浮係統

• 無汙染

• 少維護 愛德華STPH301C STPH451C渦輪分子真空泵

• 任意方向操作 

  技術數據

  入口法蘭	ISO100K
  出口	KF40
  吹掃口	KF10
  水冷卻接頭	PT1/4
  抽速
  N2	300 ls-1
  H2	200 ls-1
  壓縮比
  N2	>108
  H2	103
  加熱時的極限壓力	10-7 Pa
  	(10-9 Torr)
  大連續出口壓力	660 Pa
  	(5 Torr)
  大氮氣吞吐量	2500 sccm
  額定速度	48000 rpm
  啟動時間	4 分鍾
  高入口法蘭溫度	120 °C
  輸入電壓	100 至 120 (± 10) V 交流或
  	200 至 240 (± 10) V 交流
  功耗	0.6 kVA
  泵重量	15 kg
  控製器重量	9 kg

 蘇州昆山太倉(cang) 無錫上海張家港吳江常熟鎮江愛德華STPH451C STPH301C 渦輪分子真空泵

常州揚州泰州南通南京啟東(dong) 海門如皋海門海安愛德華STPH451C STPH301C 渦輪分子真空泵
如東(dong) 宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州台州衢州愛德華STPH451C STPH301C 渦輪分子真空泵

紹興(xing) 金華寧波餘(yu) 姚福州廈門泉州深圳廣州珠海愛德華STPH451C STPH301C 渦輪分子真空泵

廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶愛德華STPH451C STPH301C 渦輪分子真空泵

荊州太原蘭(lan) 州烏(wu) 魯木齊石家莊天津長春吉林愛德華STPH451C STPH301C 渦輪分子真空泵

濟南青島威海德州連雲(yun) 港昆明九江安慶愛德華STPH451C STPH301C 渦輪分子真空泵

一、進口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV係列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP係列(IQDP80)、QDP係列、DP係列、E1M係列、E2M係列、EH係列、QMB係列、RV係列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS係列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP係列(ADP122)、ACP係列(ACP28、ACP40)、RHV係列、SD係列、C1係列、C2係列、I係列、H1係列、A係列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV係列(SV65B等)、SC係列、DIVAC係列、DK係列、DRYVAC係列、WS係列、SP係列、TRIVAC係列、WH/WHU係列等
4、EBARA(易巴拉)：A係列、AV係列、AW係列、AA係列、AAS係列、X係列等。
5、KASHIYAMA：MU係列、SDE係列、SDL係列、KMB係列、NeoDRY係列等。
6、ORION(好利旺)：KRX係列、CBX係列、KRF係列、KHF係列、KHA係列、KRA係列、KHH係列等。
7、BECKER(貝克)：U係列、VT係列、KVT係列、VTLF係列、T係列、DVT係列、DVTLF係列等。
8、RIETSCHLE(裏其樂(le) )：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵係列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ幹式旋片真空/壓縮泵係列、VL/DT/KT幹式旋片真空/壓縮泵係列等。
9、ULVAC(愛發科)：GLD油旋片真空泵係列、VDN/VSN油選片真空泵係列、PVD油旋片真空泵係列等。
10、VIRIAN(瓦裏安)：DS/HS/SD/CD係列油旋片真空泵係列、TS/DS幹式真空泵係列等。
11、IWATA（岩田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鍾）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控製板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(裏其樂(le) )、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦裏安)等。

三、進口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。