英國愛德華渦輪分子泵STP-XA3203C、STPXA4503C ISO320F

概述

STP-XA3203C 渦輪泵為(wei) 高真空到 2300 sccm 製程流的製程範圍內(nei) 提供高性能，並提高所有氣體(ti) 的吞吐量。 

此泵基於(yu) 新的平台設計，提供各種功能以改善熱管理，從(cong) 而增強在嚴(yan) 苛製程中的性能，提高大製程流能力，並減少腐蝕和沉積的影響。

其出色的性能既適用於(yu) 溫和的應用環境，也適用於(yu) 嚴(yan) 苛的環境，例如半導體(ti) 刻蝕、注入、光刻和 LCD 製程。英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA3203C維修

應用

• 金屬（鋁）、鎢和電介質（氧化物）以及多晶矽等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
• 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
• 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺射
• 離子注入源，射束線泵送端點站
• MBE
• 擴散
• 光致抗蝕劑脫模
• 晶體/晶膜生長
• 晶片檢查
• 負載鎖真空腔
• 科學儀器：表麵分析、質譜分析、電子顯微鏡
• 高能物理：射束線、加速器
• 放射線應用：融合係統、回旋

功能和優勢

良好的轉子設計  

• 增強的 H2、N2 和 Ar 性能

• 改進了在高真空到 2300 sccm 製程壓力範圍內(nei) 的性能

• 免維護

5 軸磁懸浮係統  

• 無汙染

• 低振動

創新性轉矩管理  

• 獲得轉矩減少機械裝置

優(you) 化的溫度管理係統  

• 高溫 TMS 能力

• 低沉積

• 內(nei) 置冷卻機械裝置

• 更高的氣體(ti) 吞吐量（加熱和未加熱）

• 延長壽命

• 可用於(yu) 嚴(yan) 苛製程英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA3203C維修

認證  

• 符合 SEMI®，具有 CE 標記，列於(yu) UL 中

技術數據

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廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA4503C保養(yang) 、STP-XA3203C維修

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一、進口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV係列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP係列(IQDP80)、QDP係列、DP係列、E1M係列、E2M係列、EH係列、QMB係列、RV係列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS係列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP係列(ADP122)、ACP係列(ACP28、ACP40)、RHV係列、SD係列、C1係列、C2係列、I係列、H1係列、A係列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV係列(SV65B等)、SC係列、DIVAC係列、DK係列、DRYVAC係列、WS係列、SP係列、TRIVAC係列、WH/WHU係列等
4、EBARA(易巴拉)：A係列、AV係列、AW係列、AA係列、AAS係列、X係列等。
5、KASHIYAMA：MU係列、SDE係列、SDL係列、KMB係列、NeoDRY係列等。
6、ORION(好利旺)：KRX係列、CBX係列、KRF係列、KHF係列、KHA係列、KRA係列、KHH係列等。
7、BECKER(貝克)：U係列、VT係列、KVT係列、VTLF係列、T係列、DVT係列、DVTLF係列等。
8、RIETSCHLE(裏其樂(le) )：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵係列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ幹式旋片真空/壓縮泵係列、VL/DT/KT幹式旋片真空/壓縮泵係列等。
9、ULVAC(愛發科)：GLD油旋片真空泵係列、VDN/VSN油選片真空泵係列、PVD油旋片真空泵係列等。
10、VIRIAN(瓦裏安)：DS/HS/SD/CD係列油旋片真空泵係列、TS/DS幹式真空泵係列等。
11、IWATA（岩田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鍾）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控製板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(裏其樂(le) )、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦裏安)等。

三、進口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。