英國愛德華STP-iXA2206C ISO250F渦輪分子泵

製品概要

STP-iXA2206 係列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(ye) 內(nei) ，可將小型電源供給集成到機載控製器內(nei) （ 該泵的高度等於(yu) STP-A2203C 的高度，也等於(yu) STP-iXA2205 係列（不帶其電源供給 (iPS-1200)）的高度。 這一*集成的產(chan) 品易於(yu) 安裝且占地麵積小，可作為(wei) 所有應用工具的一體(ti) 化解決(jue) 方案。愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C

用途

• 金屬（鋁）、鎢和電介質（氧化物）以及多晶矽等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
• 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
• 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺射
• 離子注入源，射束線泵送和站

  特性與優勢

• 緊湊型設計，包括*集成的控製器
• 創新性自傳感磁力軸承係統
• 數字化 5 軸控製
• 與現有渦輪泵相比振動級別降低了 50%
• 可以配置為運行腐蝕性製程愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C

  技術數據

  入口法蘭尺寸	ISO250F/VG250/ICF305
  前級抽氣口尺寸	KF40
  抽速 N2/Ar	2200/1900 ls-1
  壓縮比 N2/H2	>108 / 1 x 104
  極限壓力	10-7 Pa (10-9 Torr)
  允許的前級壓力	266  Pa (2 Torr)
  大氣流 N2 *（僅水冷）	3000 sccm
  	(5.07 Pam3s-1)
  大氣流 Ar *（僅水冷）	1400 sccm
  	(2.36 Pam3s-1)
  額定速度	27000 rpm
  運轉到 90% 額定速度的時間	<8 分鍾
  固定位置	任何方向
  輸入電壓	200-240 V
  大輸入功率（不帶 TMS）	1200 VA
  重量	62 kg

  
  * 大氣流適用於(yu) 在 15-25 °C 之間的水冷卻溫度下連續泵送 N2 或 Ar 氣體(ti) ，並且使用前級泵（10,000 l/min 大小）的情況。 它會(hui) 隨條件變化而變化。

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泉州深圳廣州珠海廣州惠州通州桂林南寧英國愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C、STP-iXA3306C

南昌贛州武漢成都重慶荊州太原蘭(lan) 州英國愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C、STP-iXA3306C

烏(wu) 魯木齊石家莊天津長春吉林濟南青島英國愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C、STP-iXA3306C

威海德州連雲(yun) 港昆明九江安慶英國愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C、STP-iXA3306C

一、進口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV係列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP係列(IQDP80)、QDP係列、DP係列、E1M係列、E2M係列、EH係列、QMB係列、RV係列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS係列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP係列(ADP122)、ACP係列(ACP28、ACP40)、RHV係列、SD係列、C1係列、C2係列、I係列、H1係列、A係列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV係列(SV65B等)、SC係列、DIVAC係列、DK係列、DRYVAC係列、WS係列、SP係列、TRIVAC係列、WH/WHU係列等
4、EBARA(易巴拉)：A係列、AV係列、AW係列、AA係列、AAS係列、X係列等。
5、KASHIYAMA：MU係列、SDE係列、SDL係列、KMB係列、NeoDRY係列等。
6、ORION(好利旺)：KRX係列、CBX係列、KRF係列、KHF係列、KHA係列、KRA係列、KHH係列等。
7、BECKER(貝克)：U係列、VT係列、KVT係列、VTLF係列、T係列、DVT係列、DVTLF係列等。
8、RIETSCHLE(裏其樂(le) )：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵係列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ幹式旋片真空/壓縮泵係列、VL/DT/KT幹式旋片真空/壓縮泵係列等。
9、ULVAC(愛發科)：GLD油旋片真空泵係列、VDN/VSN油選片真空泵係列、PVD油旋片真空泵係列等。
10、VIRIAN(瓦裏安)：DS/HS/SD/CD係列油旋片真空泵係列、TS/DS幹式真空泵係列等。
11、IWATA（岩田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鍾）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控製板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(裏其樂(le) )、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦裏安)等。

三、進口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。