英國愛德華半導體(ti) EPX180L 幹式真空泵

概述

新的緊湊型 EPX180 高真空幹泵的特性是：工作性能更佳，運行成本更低。EPX180 使用了*的保護機械裝置，能夠從(cong) 大氣壓抽空到小於(yu) 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。

模塊化 EPX180 基於(yu) 備受讚譽、大獲成功的 IPX 係列，可提供的性能，與(yu) IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體(ti) 積小了 30% 且功率降低了 40%。英國愛德華EPX180L幹式真空泵維修保養(yang)

技術

EPX 泵係統在大氣壓和極限真空之間的壓力下工作，增壓室內(nei) 無潤滑或密封液。這樣可以確保泵送係統清潔，不會(hui) 因為(wei) 係統的排空而使油或液體(ti) 回流到係統中。

泵的定子和封閉馬達通過集成化水冷回路進行冷卻。因此，EPX 泵適合在不允許使用風扇的潔淨室環境下使用。冷卻水供應和回水管通過水接頭（由客戶）連接到泵。冷卻水的提供必須與(yu) 環境條件（濕度和溫度）相當，以便不會(hui) 達到結露點。

泵裝有一個(ge) EMC 供應過濾器和一個(ge) 變換器驅動，該驅動可提供和控製泵馬達的電源。前蓋上的 LED 標識 EPX 泵的狀態。馬達速度取決(jue) 於(yu) 泵入口處的壓力。當泵在入口壓力處於(yu) 或接近大氣壓的情況下啟動時，馬達會(hui) 加速到某個(ge) 速度，該速度受可以由變換器驅動提供的電流限製。隨著入口處的壓力降低，馬達速度會(hui) 加快，直至該速度終達到其預定的大速度。如果入口處的壓力增大，則馬達速度會(hui) 再次減慢。

EPX L 係列的泵不能進行手動操作；這些泵必須通過外部控製設備進行控製和監視，而控製設備必須通過工具接口模塊 (TIM) 連接到 EPX 泵。

EPX 泵由四個(ge) 振動隔離器進行支持。

泵保護傳(chuan) 感器可在出現故障狀態時自動關(guan) 閉泵。英國愛德華EPX180L幹式真空泵維修保養(yang)

應用

• EPX 係列涵蓋廣泛的應用，從水處理到中度工作負載的製程。
  
  EPX“L”係列旨在用於泵送惰性氣體混合物（如負荷鎖定）且通過製程機台接口提供控製的清潔工作應用。

功能和優勢

• 緊湊的占地麵積 – 作為可用的小工具上泵之一，EPX 顯著節省了占地麵積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。
• 低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可大化功率效率。
• *的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，並可以在所有進氣口壓力下連續工作。
• 超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為製程工具中汙染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，並且不存在任何其他的潛在汙染源。
• 非常可靠 – EPX 基於經過現場驗證的 IPX 技術，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，延長了泵的使用壽命。
• 可兼容的網絡 - EPX 係列配有終用戶控製，可以連接到各種結構的網絡，以進行診斷監視和控製。

技術數據

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