德國萊寶油擴散真空泵 DIP 50.000 維修​

DIP

油擴散泵

DIP 油擴散泵是不帶任何旋轉部件的高真空泵，此類流體(ti) 夾帶泵的工作原理是基於(yu) 蒸汽射流的傳(chuan) 輸能力。與(yu) 其它高真空泵相比，擴散泵的抽速非常大，DIP係列擴散泵抽速為(wei) 3000-50000 l/s。LEYBOJET集成了額外噴射級，以實現中真空範圍內(nei) 大的氣載和穩定抽速。

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DIP50000油擴散泵

萊寶DIP50000油擴散泵主要技術參數：抽速：50 000L/S極限全壓強：< 5.0 x 10-7mbar蒸汽流真空泵的工作原理擴散泵的運行倚賴於(yu) 泵油蒸汽，其主要部件有：- 含有進氣口和排氣口的冷卻泵體(ti) - 噴嘴係統- 泵油鍋擴散泵工作時，油鍋內(nei) 泵油被加熱至氣化，油蒸汽被強迫通過泵內(nei) 噴嘴係統。噴嘴的特殊設計能將蒸汽加速至大於(yu) 音速（拉瓦爾噴嘴），於(yu) 是形成高速蒸汽噴射流，並被噴嘴以特定角度噴向泵體(ti) 。

萊寶DIP50000油擴散泵主要技術參數：

抽速：50 000L/S

極限全壓強：< 5.0 x 10-7mbar

蒸汽流真空泵的工作原理

擴散泵的運行倚賴於(yu) 泵油蒸汽，其主要部件有：

- 含有進氣口和排氣口的冷卻泵體(ti)

- 噴嘴係統

- 泵油鍋

擴散泵工作時，油鍋內(nei) 泵油被加熱至氣化，油蒸汽被強迫通過泵內(nei) 噴嘴係統。噴嘴的特殊設計能將蒸汽加速至大於(yu) 音速（拉瓦爾噴嘴），於(yu) 是形成高速蒸汽噴射流，並被噴嘴以特定角度噴向泵體(ti) 。蒸汽接觸冷泵體(ti) 後，冷凝成液態泵油流回油鍋。擴散泵和其它類型的蒸汽流真空泵的抽氣能力主要基於(yu) 蒸汽噴射流對氣體(ti) 的傳(chuan) 輸能力。被抽氣體(ti) 在排氣口被充分壓縮後由前級泵抽出。

油擴散泵

與(yu) 其它的類型的蒸汽流真空泵相比，油鍋內(nei) 和蒸汽射流中的蒸汽密度是相當低的，因此氣體(ti) 分子幾乎可以全部擴散進入蒸汽射流中，而其中的絕大部分分子會(hui) 被抽出。

擴散泵的抽速（與(yu) 進氣口麵積相關(guan) ）高而恒定， 在進氣壓強約為(wei) 10-3mbar(0.75×10-3Torr)至很低壓強範圍內(nei) ，蒸汽射流不受真空室內(nei) 壓強變化的影響。

油擴散泵的工作

前級真空

在任何情況下，擴散泵都需配足夠大小的前級泵（見技術數據），前級真空泵的規格和類型取決(jue) 於(yu) 工作條件和所抽氣體(ti) 量。

1.在10-4 mbar（0.75 x 10-4托）以上連續工作 — 抽大量氣體(ti) 。

2.在10-4 mbar（0.75 x 10-4托）以下連續工作 — 抽較少量氣體(ti) 。

使用擴散泵時，真空室必須通過閥（3）和粗抽線直接連到前級泵。先用前級泵

將真空室抽低至擴散泵能正常切入的壓強，如擴散泵已準備完畢，可打開高真

空閥（4）開始。真空室破*，必須關(guan) 閉前級真空閥（2）和高真空閥（4），擴散泵維持在備用狀態。

抽速

任何一種泵的抽速都是指通過泵吸入口的體(ti) 積流量。對於(yu) 擴散泵來說對輕氣體(ti) 抽速比重氣體(ti) 抽速大。

泵油返流

某些油分子脫離蒸汽噴射流且未能被冷卻的泵體(ti) 捕集時，就可能發生不希望的返流現象。油分子之間的碰撞和泵體(ti) 的反射，使其可能向真空室方向運動。

DIP擴散泵的返油率僅(jin) 為(wei) 每分鍾每cm2進氣口麵積幾μg，加水冷帽或冷阱捕集後，幾乎可*消除油返流。

擴散泵的返油率

- 無水冷帽和冷阱

約 1 x 10-2 mg x cm-2 x min-1

- 加有水冷帽

約 1 x 10-3 mg x cm-2 x min-1

- 加有冷阱

(T = 10 °C (50 °F))

約 1 x 10-5 mg x cm-2 x min-1

以上數據是在進口壓強<1×10-4 mbar以及LVO500條件下測定的。

可達到的極限壓強

真空係統可達到的極限壓強不僅(jin) 與(yu) 擴散泵型號和額定抽速有關(guan) ，還與(yu) 泵油蒸汽壓、冷阱的形狀和溫度、連接法蘭(lan) 或焊接點的泄漏以及真空室內(nei) 表麵狀況有關(guan) 。

在消除了因泄漏和腔體(ti) 內(nei) 壁髒造成的放氣影響後，它將能達到“概述”一節所給“油擴散泵（DIP）可達到的極限壓強”表中所述值。

實際上，以下組合對於(yu) 實現無返油的高真空有很好的效果。

- 集成了水冷帽的擴散泵加配星形冷阱，水冷星形冷阱安裝在擴散泵高真空法蘭(lan) 上。

密封方式

對10-8 mbar (0.75 x 10-8 Torr)的極限壓強要求，烘烤溫度150 °C (302 °F)已足夠。須使用FPM ( FPM=氟橡膠，可耐150 °C (302 °F) 溫度 ) 密封圈或鋁製超級密封環。

為(wei) 防止壓強的變化，擴散泵與(yu) 冷阱之間必須使用超級密封環。

低於(yu) 10-8 mbar(0.75 x 10-8 Torr)的極限壓強則要求烘烤溫度高達400 °C ( 752 °F )。

實際上隻須將真空室烘烤到400°C (752°F)，而在冷阱上維持一個(ge) 溫度梯度，使泵入口法蘭(lan) 不超過150 °C (302 °F)。

在這種條件下，允許使用FPM密封環或鋁製超級密封環。

冷卻

冷卻進水溫度不應超過25 °C (77 °F)，出水不應大於(yu) 30 °C (86 °F)，否則不能保證泵油充分冷凝。當串聯泵和冷阱的冷卻水回路時，必須使冷卻水首先流過冷阱然後再流過擴散泵，因為(wei) 真空室可達到的極限壓強在很大程度上取決(jue) 於(yu) 冷阱上泵油的冷凝溫度。

DIP係列泵是為(wei) 工業(ye) 係統使用而開發的。優(you) 秀的真空性能與(yu) 這種泵固有的機械耐用性相結合，使萊寶的擴散泵成為(wei) 高和中真空領域的可靠設備。

供貨範圍

油擴散泵在供貨時已具備連接條件，但沒充泵油。

交貨前泵內(nei) 部已擦洗幹淨，無油且已抽空。高真空和前級真空法蘭(lan) 已經配裝有發運法蘭(lan) ，及所需配套之密封圈和中心定位環及全套緊固部件。

客戶得益

- 在高真空範圍內(nei) 具有很高抽速

- 可獲得很低的極限壓強

- 集成的水冷帽可確保向真空室極低的返油率

- 集成的水冷前級真空擋板確保低油耗（即使在高氣載下）

- 即便在減小加熱功率下仍具有高前級背壓

- 加熱棒在插入油鍋的加熱套管中，方便操作可快速更換（即使泵為(wei) 熱態）

- 每個(ge) 加熱棒對應單獨的自動斷路器，確保電氣高度安全

- 標配超溫保護開關(guan) 防止熱過載，保證加熱棒不會(hui) 過熱

- 所有泵已預留位置，可安裝冷卻水過溫保護開關(guan) （備選件）以檢查冷卻水

回路，和觸點指針溫度計（備選件）以監視擴散泵工作溫度

- 通過油位視窗指示可檢查當前油位

- 所有DIP泵交貨時其內(nei) 室潔淨無油並

抽空，方便加入所需泵油類型

- 可以選配能耗管理係統，較大限度的節省擴散泵的運行成本。（部分型號適用）

典型應用

DIP係列擴散泵可用於(yu) 鍍膜係統、真空熔煉和幹燥係統以及真空爐/熱處理

1)用LVO500泵油按DIN 28 427測得。

2)冷卻水需要量參看ΔT = 10 °C (50 °F)。出水溫度不應超過30 °C (86 °F)。

3)前級泵/組可選用單或雙級旋片泵（TRIVAC；SOGEVAC）或者滑閥泵（E/DK），以及羅茨真空泵（RUVAC）的組合。

4)泵不含油，需單獨購買(mai) 。

5)改裝套件。

技術參數                     DIP50000

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南京啟東(dong) 海門如皋海門海安德國萊寶油擴散真空泵 DIP 50.000 維修

如東(dong) 宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州德國萊寶油擴散真空泵 DIP 50.000 維修

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珠海廣州惠州通州桂林南寧德國萊寶油擴散真空泵 DIP 50.000 維修

南昌贛州武漢成都重慶荊州德國萊寶油擴散真空泵 DIP 50.000 維修

太原蘭(lan) 州烏(wu) 魯木齊德國萊寶油擴散真空泵 DIP 50.000 維修