1500/2000/3000iCL COOLVAC iCL係列全自動再生低溫泵

HTH官网首页登录入口是低溫泵產(chan) 品與(yu) 維修服務提供商，德國、法國真空技術品牌的服務專(zhuan) 家組建的技術服務商，致力於(yu) 真空領域的解決(jue) 方案，我們(men) 專(zhuan) 業(ye) 服務的品牌有：Seiko Seiki日本精工精機、EBARA日本荏原、Leybold德國歐瑞康萊寶、Pfeiffer德國普發、ALCATEL法國阿爾卡特、Edwards英國愛德華、Kashiyama日本樫山、 MITSUBISHI日本三菱、Suzuki日本鈴木冷泵、ULVAC日本愛發科、CTI Cryopump低溫泵（冷泵）等等… 為(wei) 客戶提供市場前沿高質量的技術解決(jue) 方案，幫助客戶提高生產(chan) 效率和降低生產(chan) 成本！源自原廠、高於(yu) 原廠、技術、同步！

萊寶COOLVAC低溫泵的工作範圍10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）屬於(yu) 氣體(ti) 捕集泵。工作原理是將氣態物質通過低溫冷凝和低溫捕集到泵內(nei) 冷表麵。為(wei) 了能夠獲得高真空或超高真空，冷表麵（低溫板）必須冷卻到足夠低的溫度。根據所用冷卻係統的類型可以分為(wei) 製冷機低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發器低溫泵。

萊寶COOLVAC低溫泵的工作範圍10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）屬於(yu)

氣體(ti) 捕集泵。工作原理是將氣態物質通過低溫冷凝和低溫捕集到泵內(nei) 冷表麵。為(wei) 了能夠獲得高真空或超高真空，冷表麵（低溫板）必須冷卻到足夠低的溫度。根據所用冷卻係統的類型可以分為(wei) 製冷機低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發器低溫泵。

萊寶公司生產(chan) 用製冷機冷卻低溫泵。

 萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL係列全自動再生低溫真空泵

客戶得益

低溫泵的優(you) 勢：

- 所有氣體(ti) 都有高抽速

- 對水汽有*的抽速

對於(yu) 相同直徑的高真空法蘭(lan) ，低溫泵可以達到所有高真空泵MAX的抽速。

低溫泵的優(you) 勢2：

與(yu) 氣體(ti) 傳(chuan) 輸泵（例如渦輪分子泵）相比，低溫泵在真空側(ce) 沒有任何機械活動

部件、潤滑油或脂潤滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強範圍的無烴真空

- 對外部振動不敏感

其它優(you) 點：

- 與(yu) 其他高真空泵相比更加緊湊（抽速大於(yu) 1500 l x s-1）

- 僅(jin) 啟動和再生期間需要前級泵

- 利用計算機更容易對工藝和泵進行控製

- 性價(jia) 比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的應用

萊寶真空生產(chan) 的低溫泵采用本廠生產(chan) 的COOLPOWER雙級冷頭冷卻（Gifford/McMahon原理）。

有關(guan) COOLVAC係列低溫泵的設計，請見以下示意圖的內(nei) 容。

一級冷頭（9）冷卻熱輻射防護屏和低溫泵的障板（6）。

根據泵的型號和工作條件不同，達到45到80K的工作溫度，水蒸汽在這裏冷凝。

熱輻射防護屏和障板為(wei) 銅質，它們(men) 能很好地傳(chuan) 遞熱量，從(cong) 而優(you) 化製冷容量。

另外，熱輻射防護屏經過拋光，將反射損失降到盡可能小。二級冷頭（7）用於(yu) 冷卻冷傘(san) （8）。

根據工作條件，達到 10到 20 K的工作溫度。氮氣、氧氣和氬氣在這裏低溫冷凝。冷傘(san) 采用高導熱銅材與(yu) 二級冷頭緊密相連。氫氣、氖氣和氦氣被吸附到冷傘(san) 上麵部分覆蓋活性炭上。

COOLVAC製冷機低溫泵

COOVAC係列的所有低溫泵都配有安全閥（UHV型帶有爆破膜），安全閥由工廠設置，過壓150mbar（113托）時打開。萊寶低溫真空泵 COOLVAC 60000 iCL維修保養(yang) ​

為(wei) 了保證在安全閥動作時，安全地排出可能影響健康的氣體(ti) ，安全閥另配有一個(ge) DN 40 KF 法蘭(lan) ，上麵可以連接一條排氣管線。

低溫泵的再生

低溫泵工作的一個(ge) 重要方麵是再生。由於(yu) 低溫泵屬於(yu) 氣體(ti) 捕集泵，所以被抽氣體(ti) 都蓄積在泵內(nei) ，飽和後必須泵排出。

具體(ti) 操作方法是關(guan) 閉壓縮機並加熱低溫區到室溫或略高的溫度，由前級真空泵將釋放的氣體(ti) 排出。

非電控再生係統的低溫泵這種低溫泵通過向泵內(nei) 吹掃幹燥、預熱的惰性氣體(ti) （例如氮氣）加熱低溫區到室溫。此情況下，由於(yu) 低溫泵內(nei) 不可能有確定的和受控製的溫度，所以無法排除氫氣和氧氣同時存在的情況。隻有通過幹燥惰性氣體(ti) 的稀釋作用來防止可燃混合氣的形成。萊寶低溫真空泵 COOLVAC 60000 iCL維修保養(yang)

多台低溫泵組合操作

由於(yu) 萊寶真空的壓縮機COOLPAK 6000HD功能強大，可以同時驅動兩(liang) 個(ge) 以上冷頭或低溫泵。

客戶得益

- 極大的降低投資和操作成本

- 占地麵積小

蘇州昆山太倉(cang) 無錫上海張家港吳江萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL係列全自動再生低溫真空泵

常熟鎮江常州揚州泰州南通南京啟東(dong) 萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL係列全自動再生低溫真空泵

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寧波餘(yu) 姚福州廈門泉州深圳廣州珠海廣州萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL係列全自動再生低溫真空泵

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萊寶真空全自動加熱再生低溫泵

低溫泵通過電加熱器將一級和二級冷頭加溫到室溫。此類情況下，低溫泵內(nei) 可以達到確定和受控製的溫度分布。這個(ge) 受控製的加溫過程保證了氣體(ti) 被連續排出，也就是按以下順序氣體(ti) 一個(ge) 接一個(ge)

被釋放：

-　吸附在冷傘(san) 上的氣體(ti) （例如氫氣、　 氦氣、氖氣）

-　冷凝在冷傘(san) 上的氣體(ti) （例如氮氣、　 氧氣、氬氣）

-　冷凝在障板和熱輻射防護屏上的氣　 體(ti) 和蒸汽（例如水蒸汽）

萊寶真空采用的這種電加熱再生方法能夠防止氫氣和氧氣之類的氣體(ti) 在泵內(nei) 同時存在，從(cong) 根本上排除了可燃混合氣形成的可能。

加溫過程為(wei) 全自動，泵內(nei) 的壓強和溫度分布，始終由控製係統確定和控製，從(cong) 而保證萊寶真空低溫泵再生期間較大限度的安全。

萊寶真空的低溫泵分自然再生（BL）和全自動加熱再生（iCL）兩(liang) 個(ge) 係列：

1. COOLVAC ClassicLine（COOLVACiCL），單品以對氮氣抽速命名（單位l/s），如COOLVAC 1500 iCL對氮氣的抽速為(wei) 1500l/s。可提供從(cong) 1500到60000l/s的全係列產(chan)

品。

在報價(jia) 清單上，泵名稱帶有符號“V”的：“V”表示高真空接口位於(yu) 上端，冷頭在下麵，例如COOLVAC 1500 iCL-V、DN 200 CF。

2. COOLVAC BaseLine的命名規則相同，可提供從(cong) 1500到60000l/s的全係列產(chan) 品。

3.　特殊低溫泵

萊寶真空可以根據客戶要求提供特製低溫泵，如為(wei) 航天環境模擬應用提供大口徑液氮輔助製冷低溫泵CV30000BLN2和CV60000BLN2，詳細信息請和垂詢熙日真空。

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低溫泵的優(you) 勢：

- 所有氣體(ti) 都有高抽速

- 對水汽有*的抽速

對於(yu) 相同直徑的高真空法蘭(lan) ，低溫泵可以達到所有高真空泵MAX的抽速。

低溫泵的優(you) 勢2：

與(yu) 氣體(ti) 傳(chuan) 輸泵（例如渦輪分子泵）相比，低溫泵在真空側(ce) 沒有任何機械活動

部件、潤滑油或脂潤滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強範圍的無烴真空

- 對外部振動不敏感

其它優(you) 點：

- 與(yu) 其他高真空泵相比更加緊湊（抽速大於(yu) 1500 l x s-1）

- 僅(jin) 啟動和再生期間需要前級泵

- 利用計算機更容易對工藝和泵進行控製

- 性價(jia) 比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的應用

客戶得益

- 無烴高真空

- 抽氬氣和氮氣能力強

- 切入閾值高

- 操作簡單

- 易於(yu) 整合到複雜係統

- 全自動再生

- 維修簡單

典型應用

- 蒸發器

- 濺射係統

- 離子注入機

- 光學鍍膜機

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CTI-Cryogenics On-Board® IS 低溫泵

維修-翻新服務

Brooks CTI-Cryogenics 智能 On-Board IS 低溫泵係統采用創新型高效低溫技術，可以提供的真空性能和能源效率。獲得的分布式控製係統監控器及連續可調的低溫泵係統獨立部件幫助維持係統從(cong) 而實現在較寬真空範圍內(nei) 都有*的工藝連續性。

Brooks 的優勢

• 各種 CTI-Cryogenics 低溫泵和壓縮機的“一站式”體驗
• 原始設備製造商：產品技術專家和設計工程師
• 可在所有主要的半導體晶圓廠所在的區域提供維修服務
• 所有維修類型均提供一年全麵質保
• 維修類別：
  • 翻新
  • 高級交換
  • 1 天快速響應交換
• 固定備件交換適用於所有區域
• 維修新增了產品升級和 CIP服務
• ISO 認證的維修僅使用 Brooks 部件
• 統一維修作業流程以保持質量和性能的*性
• 所有產品的準備時間都是固定的，與服務類別無關
• 特定的維修協議可用於所有機械手臂

On-Board 低溫泵維修-翻新選項

* 如需了解可用性， 請與(yu) 我們(men) 聯係。

Brooks 認證的維修是客戶的正確選擇，可提供高質量的專(zhuan) 業(ye) 服務。這些維修旨在優(you) 化老化產(chan) 品的性能，並為(wei) 所有低溫需求獲取好壽命。

On-Board 低溫泵維修特性

• 可提供性能升級選項
• 高級評估診斷工具
• 自動化測試套件
• 堅持*複製
• 深層故障分析選項

前瞻性協議

對於(yu) 大量裝機的客戶，服務協議可以與(yu) 增強的預防性維護或包括交換的翻新服務一起提供。這些協議提供隨時可用的備件以支持運行時間要求。該計劃可幫助客戶主動管理設備維護，以便減少意外停機時間，同時固定的價(jia) 格有利於(yu) 您申請預算或預估維護費用。低溫捕集泵維修，深冷泵維修，POLYCOLD維修專(zhuan) 家就屬熙日真空更專(zhuan) 業(ye) ，我們(men) 是專(zhuan) 業(ye) 維修POLYCOLD等深冷泵的公司，擁有眾(zhong) 多專(zhuan) 業(ye) 且經過培訓的工程師，訓練有素，服務，上門解決(jue) 您的設備各種疑難雜症問題，如果您遇到有POLYCOLD解決(jue) 不了的問題聯係熙日真空

　　我司常備有Polycold維修配件：Polycold的原裝配方冷媒、冷凍油、低溫電磁閥、低溫接頭墊圈和保溫材料，維修後享有免費保修，免費技術支持。