TURBOVAC i / iX係列半磁浮分子泵

TURBOVAC i(T)係列分子泵在其工作範圍內(nei) 對各類氣體(ti) 都具有最的高性能表現和最大的抽速。
萊寶真空泵半磁浮分子泵TURBOVAC 450 i/iX

半磁浮分子泵TURBOVAC 450 i/iX

350i/iX 450i/iX T350i/iX T450i/iX TURBOVAC i/iX分子泵

萊寶真空生產(chan) 的渦輪分子泵能夠獲得潔淨的高真空和超高真空，具有操作簡單，可靠性高等特點。與(yu) 性能良好的前級泵組合後，可以實現低於(yu) 10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓力。萊寶真空是世界上渦輪分子泵領導品牌之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功應用於(yu) 許多場合。工作原理渦輪分子泵轉子是一個(ge) 帶葉片的渦輪，快速旋轉的葉片將動量傳(chuan) 輸給氣體(ti) 分子，將起初無方向性的熱運動變成有定向運動。

萊寶真空生產(chan) 的渦輪分子泵能夠獲得潔淨的高真空和超高真空，具有操作簡單，可靠性高等特點。與(yu) 性能良好的前級泵組合後，可以實現低於(yu) 10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓力。

萊寶真空是世界上渦輪分子泵領導品牌之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功應用於(yu) 許多場合。

萊寶真空泵半磁浮分子泵TURBOVAC 450 i/iX

工作原理

渦輪分子泵轉子是一個(ge) 帶葉片的渦輪，快速旋轉的葉片將動量傳(chuan) 輸給氣體(ti) 分子，將起初無方向性的熱運動變成有定向運動。

渦輪分子泵的抽氣過程就是使氣體(ti) 分子從(cong) 進氣口法蘭(lan) 定向運動到前級真空口。

在分子流範圍——也就是在低於(yu) 10-3mbar(0.75 x 10-3 Torr)的壓強時，氣體(ti) 分子的平均自由行程大於(yu) 轉子與(yu) 定子葉片之間的間距(典型為(wei) 十分之零點幾毫米)，分子主要與(yu) 轉子葉片碰撞，所以

抽氣過程非常高效。

在粘滯流範圍，也就是壓強超過10-1mbar(0.75 x 10-1 Torr)，情況則*不同，分子間的頻繁碰撞降低了轉子的效率。因此，渦輪分子泵無法在大氣壓下工作，需要適當抽速的前級真空泵。

為(wei) 了使氣體(ti) 分子產(chan) 生定向運動，轉子葉片的末端的線速度必須足夠大。所以，轉子也要有相應的高轉速。對於(yu) 萊寶真空的渦輪分子泵而言，較大直徑轉子（例如 TURBOVAC 1000 ，大約20cm(7.87in.)）的轉速大約為(wei) 36000rpm，而較小直徑轉子（例如TURBOVAC50，大約6cm(2.36in.)）的轉速為(wei) 72000rpm。

分子泵設計理念

萊寶真空針對不同應用提供基於(yu) 不同軸承和轉子技術的渦輪分子泵。如TURBOVAC係列機械軸承標準分子泵；TURBOVAC MAG係列磁懸浮軸承分子泵；TURBOVAC i/iX係列半磁浮分子泵（半磁浮分子泵僅(jin) 在排氣端配置脂潤滑軸承，高真空端配置免維護的永磁軸承）。萊寶真空的分子泵均不采用油潤滑軸承可以從(cong) 理論上*避免分子泵對腔體(ti) 產(chan) 生碳氫化合物汙染並且保證所有分子泵均可以任意角度安裝。

萊寶TURBOVAC i 分子泵剖麵圖

TURBOVAC i/iX係列

TURBOVAC i/iX係列分子泵是萊寶真空采用全新的設計理念研發的全新一代分子泵。該係列產(chan) 品為(wei) 客戶提供真空的性能和較高的係統集成度。

TURBOVAC i/iX係列分子泵創新的軸承設計*地克服了分子泵軸承設計的瓶頸，同時滿足了軸承無油和現場更換這兩(liang) 大設計難點，實現了*一代的技術水平。

TURBOVAC i/iX係列分子泵適合分析儀(yi) 器、科研和普通工業(ye) 應用

TURBOVAC產(chan) 品線的優(you) 勢是：

- 無油，可以實現清潔的高真空和超高真空條件

- 運行高度可靠

- 耐輻射

- 設計緊湊

TURBOVAC i/iX產(chan) 品線的優(you) 勢是：

- *款無油半磁浮分子泵

- 模塊化設計

- 抽速大，壓比高

- 免維護

- 清潔無油

陶瓷滾珠軸承技術

所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滾珠軸承，軸承終生脂潤滑。

陶瓷滾珠較鋼滾珠更輕、更硬和更光滑。因此，使用陶瓷滾珠，座圈的磨損明顯降低。延長軸承和分子泵的壽命延長。

裝有脂潤滑的陶瓷滾珠軸承TURBOVAC泵可以任意方向安裝。由於(yu) 滾珠軸承采用封裝工藝，所以即使分子倒置安裝，油脂也不可能進入高真空區域。

TURBOVAC i/iX產(chan) 品線的優(you) 勢是：

- *款無油半磁浮分子泵

- 模塊化設計

- 抽速大，壓比高

- 免維護

- 清潔無油

陶瓷滾珠軸承技術

所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滾珠軸承，軸承終生脂潤滑。陶瓷滾珠較鋼滾珠更輕、更硬和更光滑。因此，使用陶瓷滾珠，座圈的磨損明顯降低。延長軸承和分子泵的壽命延長。裝有脂潤滑的陶瓷滾珠軸TURBOVAC

泵可以任意方向安裝。由於(yu) 滾珠軸承采用封裝工藝，所以即使分子倒置安裝，油脂也不可能進入高真空區域。

技術特點

TURBOVAC i

- 集成變頻器，24/48V DC 電源供電

- 切削成型轉子和全新複合級設計使分

　子泵具有超佳性能和較大抽速，對輕

　質氣體(ti) 尤為(wei) 突出

- 任意方向安裝

- *的可靠性源於(yu) 創新的軸承設計理

　念

- 設計靈活，適應性強

- 市場上一款無油半磁浮分子泵

- 現場維護（更換軸承），維修成本低，

　時間短

- 通訊接口齊全（標配USB，RS485和

　15針數字I/O）

TURBOVAC iX

- 集成真空係統控製器配置靈活的通訊

　接口和附件控製接口（用於(yu) 控製冷卻

　單元，閥門，規管和前級泵等）

- 附件齊全，即插即用

- 適應性強，適合各類真空工藝

TURBOVAC T i, T iX

- 標準分子泵（不含複合級）

- 帶氣載能力強

- 耐粉塵

- 啟動時間短

典型應用

- 分析儀(yi) 器/科研

　- 質譜儀(yi)

　- 電子顯微鏡

　- 表麵分析儀(yi)

　- 加速器和同步加速器

　- X射線分析儀(yi)

　- 實驗室鍍膜係統

　- MBE

　- 超高真空係統

- 生命科學

　- 放射醫療

　- 伽馬射線滅菌

　- 高品質植入物生產(chan)

- 工業(ye) 和鍍膜應用

　- PVD鍍膜設備

　- 光學鍍膜設備

　- CD/DVD/藍光光碟生產(chan)

　- 薄膜太陽能

　- 進樣室/轉移室/傳(chuan) 輸室

　- 電子束焊機

　- 檢漏/真空絕熱

技術參數                                                                          TURBOVAC

                                                            350i/ix               450i/ix                T350i/ix            T450i/ix