設備介紹
標準低溫泵 [20型]
CRYO-U20P
日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U20P維修特點
適用於(yu) 大型成膜裝置以及批量式大型成膜裝置等大型生產(chan) 裝置。
外形尺寸 (單位:mm)
日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U20P維修標準規格
排氣速度(20℃) | 氮氣 | L/s | 10,000 |
氫氣 | 18,000 | ||
氬氣 | 8,400 | ||
水 | 29,000 | ||
到達壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氬氣 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.1×103(8.7) |
氫氣 | 5.0×102(3.7) | ||
排氣容量 | 氬氣 | Pa・L(Torr・L) | 5.8×108(4.4×106) |
氫氣 | 4.6×106(3.4×104) | ||
冷卻降下時間 | min(Hz) | 180/160(50/60) | |
吸氣口法蘭(lan) | UVG-500 | ||
壓縮機裝置 | C30VR | ||
質量 | Kg | 69.0 | |
*維護間隔：16,000小時
標準低溫泵 [20型]
CRYO-U20H
標準規格
排氣速度(20℃) | 氮氣 | L/s | 10,000 |
氫氣 | 18,000 | ||
氬氣 | 8,400 | ||
水 | 29,000 | ||
到達壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氬氣 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.7×103(12.8) |
氫氣 | 5.0×102(3.7) | ||
排氣容量 | 氬氣 | Pa・L(Torr・L) | 5.8×108(4.4×106) |
氫氣 | 4.6×106(3.4×104) | ||
冷卻下降時間 | min(Hz) | 160/140(50/60) | |
吸氣口法蘭(lan) | UVG-500,20BANSI,ISO-500 | ||
壓縮機裝置 | C30PVRT | ||
質量 | Kg | 72.0 | |
*維護間隔：16,000小時
蘇州昆山太倉(cang) 無錫上海張家港吳江常熟鎮江
日本愛發科標準低溫真空泵、低溫泵CRYO-U20P維修、低溫真空泵CRYO-U20H維修
常州揚州泰州南通南京啟東(dong) 海門如皋海門海安
日本愛發科標準低溫真空泵、低溫泵CRYO-U20P維修、低溫真空泵CRYO-U20H維修
如東(dong) 宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州台州衢州
日本愛發科標準低溫真空泵、低溫泵CRYO-U20P維修、低溫真空泵CRYO-U20H維修
紹興(xing) 金華寧波餘(yu) 姚福州廈門泉州深圳廣州珠海
日本愛發科標準低溫真空泵、低溫泵CRYO-U20P維修、低溫真空泵CRYO-U20H維修
廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶
日本愛發科標準低溫真空泵、低溫泵CRYO-U20P維修、低溫真空泵CRYO-U20H維修
荊州太原蘭(lan) 州烏(wu) 魯木齊石家莊天津長春吉林
日本愛發科標準低溫真空泵、低溫泵CRYO-U20P維修、低溫真空泵CRYO-U20H維修
濟南青島威海德州連雲(yun) 港昆明九江安慶
日本愛發科標準低溫真空泵、低溫泵CRYO-U20P維修、低溫真空泵CRYO-U20H維修
HTH官网首页登录入口
電話：86-0512-36687634
傳(chuan) 真：86-0512-36687634
地址：江蘇省昆山市陸家鎮友誼路290號
郵編：215000
HTH官网首页登录入口版權所有© 2018
