設備介紹
排氣速度(20℃) | 氮氣 | L/s | 5,000 |
氫氣 | 10,000 | ||
氬氣 | 4,200 | ||
水 | 16,000 | ||
到達壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氬氣 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.6×103(12) |
氫氣 | 4.5×102(3.4) | ||
排氣容量 | 氬氣 | Pa・L(Torr・L) | 4.3×108(3.3×106) |
氫氣 | 2.4×106(1.8×104) | ||
冷卻降下時間 (電力循環) | min(Hz) | 120/110(50/60) | |
吸氣口法蘭 | UVG-400 | ||
壓縮機裝置 | C30VR | ||
質量 | Kg | 61.0 |
*維護間隔:16,000小時
*可移動基座是選購件
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日本愛發科真空泵、標準低溫真空泵CRYO-U16維修、低溫真空泵CRYO-U16P保養(yang)
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