歐瑞康萊寶推出全新一代磁懸浮分子泵Magintegra係列:
產(chan) 品特點:
1、智能化,一體(ti) 化
易於(yu) 安裝,便於(yu) 與(yu) 係統集成
2、抽速大,排氣量大
適合快速抽空和PVD等應用
3、全新5軸定位磁懸浮軸承
堅固耐用,免維護
4、*無油
獲得潔淨高真空
5、抽速300 l/s到2200 l/s
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