歐瑞康萊寶公司的DRYVAC係列螺杆式無油壓縮真空泵，專(zhuan) 為(wei) 真空應用的特殊需求而開發，適用於(yu) 太陽能、平板顯示、LED、加工工業(ye) 等應用。幹式螺杆結構的氣路短且簡單，工藝氣體(ti) 在泵內(nei) 停留時間短，工藝氣體(ti) 夾雜的粉塵顆粒等在泵內(nei) 沉積的可能性大大減小，提高了泵運行穩定性。DRYVAC全係為(wei) 水冷泵，尺寸非常緊湊，係統集成性好，方便與(yu) 萊寶的WH/WSU/WAU係列羅茨泵集成為(wei) 泵組。
主要技術參數：
    抽速：450～5000m3/h
    極限真空度：＜0.005mbar
    電機功率：11～30KW
    噪音：65dB(A)
    冷卻方式：水冷

主要特性及優(you) 點：
1、泵為(wei) *密封結構，對外隻有無磨損的O圈靜密封，消除泄漏可能，適用於(yu) 敏感性工藝。
2、尺寸緊湊，占地麵積小高度低，進氣口三個(ge) 方向可選，非常方便集成入整體(ti) 係統/設備中。
3、優(you) 化的螺杆/電機設計，使其成為(wei) 目前市場上zui省電的螺杆泵，低於(yu) 10mbar運行<7Kw(DV650)。
4、泵為(wei) 變頻器控製，集成了溫度、排氣壓強、電流、吹掃氣壓力等監控保護，提高運行可靠性。
5、水冷泵向環境散熱少，噪音低，操作簡單。
6、極少的維護保養(yang) 需求和運行成本，zui大的可靠性、靈活性和係統正常運行時間。

典型應用：
    薄膜太陽能——SiN, ZnO, α-Si/?-Si, CdTe, CIS/CIGS,,etc.

晶矽太陽能——PECVD,拉晶和鑄錠
    進出片室LL&ULL
    顯示器和玻璃鍍膜
    耐磨塗層技術

卷繞鍍

真空爐和熱處理

真空幹燥

  電子束焊接
    空間模擬
    科研領域