歐瑞康萊寶的Mag digital係列磁懸浮分子泵的

主要技術特點：

抽速： 830l/s ～ 3200l/s
五軸定位雙端磁懸浮軸承係統，自平衡性能好全無油，耐粉塵、抗氣流衝(chong) 擊。
轉子采用高強度鋁合金，一次高速銑削成形，應力小，強度高，耐衝(chong) 擊，高溫變形量小，轉子葉片不易卷曲、打碎；轉子長期運行溫度可高達120℃。
轉子及定片均采用萊寶技術的KAPLAR塗層
較鍍鎳的轉子具有更強的防腐蝕性能，適用於(yu) 抽除腐蝕性強的工藝氣體(ti) ；
降低氣流與(yu) 轉子葉片摩擦產(chan) 生的熱量，降低轉子運行溫度，有利於(yu) 延長轉子壽命；
葉片鍍KAPLAR的轉子較鍍鎳的轉子重量更輕。
保護軸承為(wei) 陶瓷軸承壽命長，無需更換保護軸承。
高真空端連接采用ISO-F，連接螺栓強度高，充分保障安全。
智能化電源，無需UPS。
帶拖動級，前級耐壓在2mbar以上。
分子泵運行溫度可調節，使其充分適應不同工藝製程。
的數字控製技術
運行速度、溫度可設置；
運行數據記錄存儲(chu) ，提供多達180條運行信息；
磁懸浮軸承及泵運行溫度采用數字化控製，信號處理速度快，係統反應時間短
轉子受氣流衝(chong) 擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉子動平衡變化時，磁場補償(chang) 反應時間短；
在氣流長時間（2分鍾以上）過大，而使泵負載過高，發熱量過大時，泵速會(hui) 快速自動調節，使泵溫下降到正常水平。
控製器與(yu) 泵無識別性，可互換。
免維護。

典型應用：
 
所有半導體(ti) 主要製程：刻蝕、化學氣相沉澱及離子注入
科研領域
鍍膜