大氣壓近旁（離子規壓力：-100kPa～10kPa）可以進行高精度測量的采用半導體(ti) 型薄膜素子的壓力傳(chuan) 感器單元。為(wei) 了可以對應高真空條件下的連續運轉的材質，采用了SUS316L。愛發科真空計G-TRAN係列SAU 壓力傳(chuan) 感器單元

複合真空計G-TRAN係列高真空環境下測定，對真空計的精度（感度平衡，誤差等）和較短的壽命（測定子汙垢，放電難等）有困惑嗎？ULVAC針對該願望，開發了在嚴(yan) 酷環境下長久，高精度測定的電離真空計。

AxTRAN是離子源和離子集電極之間，搭載貝賽爾型能量過濾器的熱陰極型電離真空計。日本愛發科*真空計 AxTRAN維修

可以測量中真空～超高真空領域的熱陰極電離真空計。10+1〜10-8Pa（金屬管類型、GI-M2）、10-1〜10-6Pa（玻璃管類型、GI-D7）日本愛發科電離真空計GI-M2/GI-D7維修保養(yang)

真空環境下測定，對真空計的精度（感度平衡，誤差等）和較短的壽命（測定子汙垢，放電難等）有困惑嗎？ULVAC針對該願望，開發了在嚴(yan) 酷環境下長久，高精度測定的電離真空計。愛發科真空計G-TRAN多離子規ST2-1/ST2-2