日本KASHIYAMA幹式真空泵SDL20E50產(chan) 品圖片
簡單介紹
KASHIYAMA工業(ye) 株式會(hui) 社,多年來致力於(yu) 真空技術的研究,不斷開發進取,在半導體(ti) 製造領域和高科技行業(ye) 中擁有*的信譽。尤其在半導體(ti) 製造領域,獲得了客戶的高度評價(jia) 與(yu) 信賴。
KASHIYAMA工業(ye) 的幹式真空泵係列已經成為(wei) 半導體(ti) 製造業(ye) 與(yu) 液晶顯示製造行業(ye) 的標準設備。並,除此之外,魯式及排氣組合式真空泵設備則在其他領域得到廣泛應用。
SDL係列
支持放大晶圓和FPD
通過組合可以實現大排量。 我們(men) 將回應超過150,000升/分鍾的要求。
更短的節拍時間。
通過確保大氣側(ce) 排氣速度,高速抽空大型負載鎖定室。
值得信賴的真空技術。 一個(ge) 多樣化的產(chan) 品組,具有的動力。
Kashiyama Industry的產(chan) 品贏得了客戶的廣泛信賴,包括半導體(ti) 和液晶製造領域。
我們(men) 多年來培養(yang) 的真空技術已成為(wei) 這種信任的基礎。
特別是,一係列幹式泵已成為(wei) 半導體(ti) 製造工藝的標準,是一種可以說是這種真空技術的高潮的產(chan) 品,並且得到了客戶的高度讚譽,它在*困難的工藝中表現出*可靠的性能。
不僅(jin) 是幹泵,還有機械增壓泵,真空排氣設備等。由Kashiyama的真空技術生產(chan) 的產(chan) 品組在多個(ge) 領域展示了它的強大功能。
日本KASHIYAMA幹式真空泵SDL20E50特點
采用優(you) 良的倉(cang) 庫性能的立式螺絲(si)
結構材料和溫度設定導致的高耐腐蝕性
仕様 / 型式 | SDL12E50 | SDL20E50 | SDL36M60 | SDL40E60 | SDL40E201 | SDL40EW201 | SDL80201 |
*大排気速度 | 25,000 | 50,000 | 60,000 | 70,000 | 80,000 | 150,000 | 170,000 |
[L/min] *1 | |||||||
到達圧力 | 0.8 | 0.5 | 0.8 | 5 | |||
[Pa] *1 | |||||||
電源電圧 | 3相 AC200~220V, 380~480V | 3相 AC380~440V | |||||
(50/60Hz) |
進口真空泵維修
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NeoDry係列NeoDry7E NeoDry15E NeoDry30E NeoDry36E NeoDry60E NeoDry300E
MU-P/H係列MU100P/H MU180P/H MU300P/H MU600P/H MU1200P/H MU20M18P/H
MU-X係列MU100X MU180X MU300X MU600X MU1200X MU20M18X
SDL係列SDL12E50 SDL20E50 SDL36M60 SDL40E60 SDL40E201 SDL40EW201 SDL80201
SDE係列SDE1220 SDE20M20 SDE30M20 SDE4060 SDE4030M20 SDE8060 SDE804060
SDE-X係列SDE90X SDE303X SDE603X SDE1203X SDE20M09X SDE30M09X
SDE-TX係列SDE120TX SDE303TX SDE603TX SDE1203TX SDE20M12TX SDE30M12TX
kashiyama NeoDry係列真空泵維修
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