日本EBARA荏原幹式真空泵ESA70W(-D) ESA70WN(-D)維修
荏原製作所,離心泵理論的奠基者,創立於(yu) 1912年(原名為(wei) 井口式機械事務所),1920年更名為(wei) 荏原製作所。經過近百年發展,荏原已在建立了101家子公司和18家參股公司,共有雇員近20000人,躋身於(yu) 世界機械製造業(ye) 500強,成為(wei) 規模大的泵類產(chan) 品製造企業(ye) 之一,年銷售額達45億(yi) 多美金,其中泵類產(chan) 品年銷售額超過22億(yi) 美金,位居世界泵類銷量前2名。 日本荏原ESA70W(-D) ESA70WN幹式真空泵
荏原製作所在日本設有三家大型工廠:富津工廠(為(wei) 了強化世界範圍內(nei) 的供貨體(ti) 製,將羽田工廠搬遷至富津工廠。富津工廠作為(wei) 荏原泵製造據點母工廠,2010年開始運轉)藤澤工廠(建於(yu) 1965年,主要生產(chan) 通用泵、製冷機、半導體(ti) 和產(chan) 用機器裝置,是荏原製作所大的生產(chan) 基地),袖浦工廠(主要生產(chan) 壓縮機、氣輪機、燃氣輪機和高速旋轉機械)。
荏原的網絡遍及。在海外有60家子公司,其中泵製造公司有15家,縮短了產(chan) 品供貨周期,快捷高效地服務於(yu) 客戶。1988年在意大利Brendola成立的荏原泵業(ye) (歐洲)有限公司,於(yu) 1992年在意大利Trento省的Cles建立了工廠,成為(wei) 歐洲大的不鏽鋼泵生產(chan) 廠家。
荏原泵產(chan) 品憑借其專(zhuan) 業(ye) 的技術和超高的產(chan) 品質量獲得世界各地*好評,被譽為(wei) “泵的巨人”。
日本荏原ESA70W(-D) ESA70WN幹式真空泵
幹式真空泵在使用過程中常見故障:
1、泵卡死不能運轉
2、真空度降低
3、起動困難
4、真空度抽不上去或抽上去穩不住
5、噪音大
69、電機發熱
幹式真空泵行業(ye) 應用:
1. 分析儀(yi) 器; 2. 電子顯微鏡; 3. 表麵分析儀(yi) ; 4. 檢漏儀(yi) ; 5. 質譜儀(yi) ; 6. 光譜儀(yi) ; 7. R&D; 8. 離子加速器; 9. 分子泵組; 10. 實驗室; 11. 工業(ye) ; 12. 燈泡生產(chan) ; 13. 真空鍍膜; 14. 深冷泵再生; 15. 電離清潔; 16. 幹燥; 17. 上料預抽真空; 18. 需要特殊方案的特殊應用; 19. 已有的特殊版本; 20. He閉環回圈; 84. 超高真空係統分子泵背泵
為(wei) 了滿足全國各地區真空客戶維修難、維修費用高等問題,蘇州高真空維修中心成立維修保養(yang) 服務工廠,擁有專(zhuan) 業(ye) 的技術工程師,維修工程師都得到原廠的正規培訓,*有實力提供幹泵的維修、保養(yang) 服務。
昆山熙日目前主要維修的品牌:德國Pfeiffer普發幹式真空泵,英國Edwards愛德華小型濕/幹泵,日本ULVAC愛發科幹式真空泵,法國Alcatel阿爾卡特幹泵,美國Agilent安捷倫(lun) 幹式渦輪泵,德國Leybold萊寶幹泵,日本EBARA荏原幹泵,德國BUSCH普旭幹泵,德國BECKER貝克幹泵,美國WELCH韋爾奇幹式WOB-L活塞泵,美國GAST嘉士達幹泵,德國Rietschle裏其樂(le) 幹泵,日本Orion好利旺幹式真空泵,日本IWATA岩田無油渦旋式幹泵,日本Kashiyama樫山幹泵。
羅茨真空泵 抽氣速度:30,000L/min 適合輕製程 Model ESA係列是新研發的*幹式真空泵,具有優(you) 越的高速排氣性能,從(cong) 而適應了LCD濺射製膜 裝置,真空幹燥製程,大型 L/L等工藝要求。並擁有高附加價(jia) 值,對應氣體(ti) 負荷自動控製轉速,高通信功能等。
特點:
● 較適用於(yu) 大型真空反應室的高速排氣
● 具有高性能通信機能
● 轉速自動調節功能
● 采用高度控製泵運轉方式
● 采用大口徑轉子,設計上*小型
● 不產(chan) 生真空泵大型化所引起的搬運性能降低
● 也可用於(yu) 有機溶劑排氣上用的特別規格
Model ESA係列 | ||||||||
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Model | ESA15-D | ESA25-D | ESA70W(-D) ESA70WN(-D) | ESA80W-HDF ESA80WN-HDF | ESA100W ESA100WN | ESA200W | ESA300W | ESA500W |
Pumping-Speed (L/min)(50Hz/60Hz) | 1,400/1,700 | 2,500/3,000 | 7,000/8,400 | 8,400 | 10,000 | 20,000 | 28,000/30,000 | 47,000/50,000 |
*Typical Application | MO-CVD -Large volume load lock- Other clean vacuum | Large volume load lock Other clean vacuum |
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