日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U30H維修特點
適用於(yu) 大型成膜裝置、太空艙等。
擁有的排除水蒸汽的性能。
外形尺寸 (單位:mm)
日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U30H維修標準規格
排氣速度(20℃) | 氮氣 | L/s | 28,000 |
氫氣 | 43,000 | ||
氬氣 | 23,000 | ||
水 | 70,000 | ||
到達壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氬氣 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 2.7×103(20) |
氫氣 | 7.4×102(5.6) | ||
排氣容量 | 氬氣 | Pa・L(Torr・L) | 7.8×108(5.9×106) |
氫氣 | 1.5×107(1.1×105) | ||
冷卻降下時間 | min(Hz) | 240/200(50/60) | |
吸氣口法蘭(lan) | VG-750 | ||
壓縮機裝置 | C30VR×2 | ||
質量 | Kg | 175.0 | |
*維護間隔：16,000小時
U22H,U30是在貿易管理法規定中屬於(yu) 戰略物資的出口管製品。
在出日本國境時請務必辦理日本政府的出口許可申請等手續。
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