日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U10H維修
排氣速度(20℃) | 氮氣 | L/s | 2,400 |
氫氣 | 3,600 | ||
氬氣 | 2,000 | ||
水 | 6,900 | ||
達到壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氬氣 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 8.0×102(6.0) |
氫氣 | 1.5×102(1.1) | ||
排気容量 | 氬氣 | Pa・L(Torr・L) | 1.0×108(7.8×105) |
氫氣 | 6.7×105(5.0×103) | ||
冷卻降下時間 (電力循環) | min(Hz) | 110/100(50/60) | |
吸氣口法蘭 | UVG-250 | ||
壓縮機裝機 | C15R | ||
質量 | Kg | 29.0 |
*維護間隔:16,000小時
*可移動基座是選購件
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