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產品名稱: 日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U4H維修
產品時間: 2019-02-10
產品型號: CRYO-U4H
產品特點: 特點輕量、緊湊，在標準品種尺寸小。適用於實驗室研究室的小型真空設備中。特別適用在半導體製造的濺射工藝裝置和小規模的裝置上。可以多台運行（大3台）。可以達到超高真空（10-8Pa以下）。日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U4H維修

日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U4H維修 的詳細介紹

標準低溫泵 [4型]
CRYO-U4H

vap

 

特點

  • 輕量、緊湊，在標準品種尺寸小。
  • 適用於實驗室研究室的小型真空設備中。
  • 特別適用在半導體製造的濺射工藝裝置和小規模的裝置上。
  • 可以多台運行（大3台）。
  • 可以達到超高真空（10-8Pa以下）。
  • 日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U4H維修​

外形尺寸 (單位:mm)

    標準規格日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U4H維修​

    排気速度(20℃)氮氣L/s750
    氫氣1,100
    氬氣620
    水2,100
    到達圧力Pa(Torr)10-7(10-9)
    大流量氬氣Pa・L/s(Torr・L/s)1.1×103(7.9)
    氫氣1.1×102(0.8)
    排氣容量氬氣Pa・L(Torr・L)5.6×107(4.2×105)
    氫氣3.1×105(2.3×103)
    冷卻下降時間 (電力循環)min(Hz)80/70(50/60)
    吸氣口法蘭UVG-150,UFC-203
    壓縮機C10, C10AT, C10ES
    質量Kg19

    *維護間隔：16,000小時

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