萊寶氦質譜L300i MODUL PHOENIX檢漏儀(yi) 租賃
萊寶L300i MODUL PHOENIX檢漏儀(yi) 租賃
氦檢質譜漏儀(yi) 的原理
氦檢質譜漏儀(yi) 可查找漏點位置並測定漏率（通過漏孔的氣體(ti) 流量）。因此，氦質譜檢漏儀(yi) 是一台氦流量計。
檢漏儀(yi) 在工作過程中首先是對試驗對象進行抽真空，來形成壓差使外部氣體(ti) 穿過漏孔進入檢漏儀(yi) 。檢漏儀(yi) 利用內(nei) 置氦質譜儀(yi) 測量進入檢漏儀(yi) 氣體(ti) 氦分壓並將測量結果轉換為(wei) 漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。
重要技術規範
測量範圍和響應時間是檢漏儀(yi) 的兩(liang) 個(ge) 重要的參數。
測量範圍用小和可檢漏率限定。萊寶氦質譜L300i MODUL PHOENIX檢漏儀(yi) 租賃
小可檢漏率用靈敏的測量範圍係統的漂移與(yu) 噪聲之和定義(yi) 。每分鍾內(nei) 係統噪聲幅度和零點漂移相加就可以得到低可檢漏率。檢漏儀(yi) 的零點漂移量非常小，所以一般僅(jin) 采用噪聲幅度就可以確定檢漏儀(yi) 的小可檢漏率。可檢漏率依賴於(yu) 所采用的檢漏方法，利用逆流法和分流法（參見下麵的說明）可以測量非常大的漏率。此外，檢漏儀(yi) 內(nei) 部的多級高阻抗輸入開關(guan) 放大器也能提高檢漏儀(yi) 測量大漏的能力。在實際的檢漏操作過程中特別是查找漏點的時候，響應時間十分重要。該時間指從(cong) 用氦氣噴吹試驗對象直到檢漏儀(yi) 顯示測量值所用的時間。電子信號調節電路係統的響應時間是總響應時間的重要組成部分。對於(yu) 檢漏儀(yi) 來說，電氣係統的響應時間遠小於(yu) 1秒。
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檢漏設備對氦的有效抽速決(jue) 定了氦氣通過漏孔進入檢漏儀(yi) 的時間（如果檢漏設備沒有輔助抽空的係統，檢漏儀(yi) 內(nei) 置的真空泵的大小會(hui) 影響係統的響應時間）。檢漏係統的響應時間可根據下麵的簡單公式計算：
氦響應時間 
(達到實際漏率95%的時間)
其中 V = 試驗對象容積
SHe = 檢漏係統對氦的有效抽速。
用標準漏孔校準檢漏儀(yi)
檢漏工藝要求準確地區分漏與(yu) 不漏的試用對象，避免任何失誤。這就需要由標準漏孔（能產(chan) 生已知氦漏率的人工漏孔）作為(wei) 檢漏設備的基準。為(wei) 了獲得準確的漏率數據，必須使用標準漏孔對校準檢漏儀(yi) 進行校準。
萊寶真空可以提供采用不同原理設計的漏率範圍10 - 9 ~ 10 - 4毫巴x升x秒 - 1的氦標準漏孔。所有標準漏孔的漏率都可以追溯到PTB（ 聯邦物理技術協會(hui) ） 和
DAKKS認證認可的標準。根據客戶的要求， 每個(ge) 氦標準漏孔都可以提供由DAkkS認證認可委員會(hui) 頒發的校準證書(shu) 。校準工作由萊寶真空在PTB授權的DAKKS校準實驗室完成。
PHOENIX L300i MODUL是模塊化的檢漏儀(yi) 。它以PHOENIX L300i為(wei) 基礎，但沒有集成前級真空泵。客戶可以根據特定用途選擇並添加外部前級真空泵。適合大型真空室檢漏或快速循環檢大漏等檢漏應用。
PHOENIX L300i MODUL保持PHOENIXL300i特性，並可以根據客戶需求配置前級泵。
兩(liang) 個(ge) 基本類型：
- 幹式檢漏係統（配置幹式前級泵）
- 油式檢漏係統（配置油封式前級泵）
PHOENIX L300i MODUL配置油封前級泵
根據檢漏應用的要求配置抽速適當的前級泵將檢漏儀(yi) 的功能發揮很好。
客戶得益
- 高效的檢漏儀(yi)
- 抽速按照特定用途進行了優(you) 化
- 響應速度快
- 高靈敏度
- 可以快速定量地檢測出小漏
PHOENIX L300i MODUL配置幹式前級泵
為(wei) 客戶提供高效的幹式檢漏係統。
客戶得益
- 大抽速，可用於(yu) 測試半導體(ti) 生產(chan) 設備
而不必采用輔助抽空係統
- 響應速度快
- 恢複時間短（氦汙染後）
- 幹燥無油
- 高靈敏度
氦質譜檢漏儀
L300i MODUL PHOENIX檢漏儀
氦檢質譜漏儀(yi) 的原理氦檢質譜漏儀(yi) 可查找漏點位置並測定漏率（通過漏孔的氣體(ti) 流量）。因此，氦質譜檢漏儀(yi) 是一台氦流量計。檢漏儀(yi) 在工作過程中首先是對試驗對象進行抽真空，來形成壓差使外部氣體(ti) 穿過漏孔進入檢漏儀(yi) 。檢漏儀(yi) 利用內(nei) 置氦質譜儀(yi) 測量進入檢漏儀(yi) 氣體(ti) 氦分壓並將測量結果轉換為(wei) 漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。重要技術規範測量範圍和響應時間是檢漏儀(yi) 的兩(liang) 個(ge) 重要的參數。測量範圍用小和可檢漏率限定。小可檢漏率用靈敏的測量範圍係統的漂移與(yu) 噪聲之和定義(yi) 。每分鍾內(nei) 係統噪聲幅度和零點漂移相加就可以得到低可檢漏率。檢漏儀(yi) 的...
PHOENIX L300i MODUL配置油封前級泵
典型應用
涉短循環和/或大容積、需要有移動式
檢漏係統的所有用途，例如：
- 汽車工業(ye)
- 製冷行業(ye)
- 工業(ye) 爐/機床/真空係統
- 包裝
PHOENIX L300i MODUL配置幹式前級泵
典型應用
需要工藝清潔的所有用途，例如：
- 半導體(ti) 產(chan) 業(ye) （芯片製造商）
- 半導體(ti) 產(chan) 業(ye) （OEM和分包商）
- 高純度氣體(ti) 行業(ye)
- 科研
- 超高真空應用
訂貨信息 | PHOENIX L300i MODUL | ||
產(chan) 品號 | 產(chan) 品號 | ||
PHOENIX L300i MODUL無前級真空泵 115-230V，50/60Hz | 250002V01 | 250002V01 | |
附件 | |||
推薦的前級真空泵 SOGEVAC SV 16 BI SOGEVAC SV 28 BI SOGEVAC SV 40 BI TRIVAC D 16 B TRIVAC D 25 B SCROLLVAC SC 15 D SCROLLVAC SC 30 DL | 歐洲版230V, 50Hz 960 286960 277根據需求提供113 25113 35133 001 133 050 | 美國版 115V, 60Hz 根據需求提供 根據需求提供根據需求提供 根據需求提供 根據需求提供 133 101 133 051 | |
其他附件參見“PHOENIX L300i、PHOENIX L300iDRY和PHOENIX L300i MODUL附件”部分。 | |||
技術參數 | PHOENIX L300i MODUL | |||||||
配置單級旋片泵 | 配置雙級旋片泵 | 配置渦旋泵 | ||||||
小可檢氦漏率真空模式吸槍模式（實驗室數據） | 毫巴x升x秒-1毫巴x升x秒-1 | ≤ 5 x 10-11 < 7 x 10-9 | ≤ 5 x 10-12 < 7 x 10-9 | ≤ 8 x 10-12 < 7 x 10-9 | ||||
小可檢氫漏率真空模式吸槍模式 | 毫巴x升x秒-1毫巴x升x秒-1 | ≤ 1 x 10-8 < 1 x 10-7 | ≤ 1 x 10-8 < 1 x 10-7 | ≤ 1 x 10-8 < 1 x 10-7 | ||||
入口高壓強帶分流係統 | 毫巴（托）毫巴（托） | 15 1000 | 15 1000 | 15 1000 | ||||
抽真空期間的抽速，泵（50赫茲(zi) ） | ||||||||
SOGEVAC SV 16 BI | 立方米/小時 | 16 | – | – | ||||
SOGEVAC SV 28 BI | 立方米/小時 | 25 | – | – | ||||
SOGEVAC SV 40 BI | 立方米/小時 | 40 | – | – | ||||
TRIVAC D 16 B | 立方米/小時 | – | 16 | – | ||||
TRIVAC D 25 B | 立方米/小時 | – | 26 | – | ||||
SCROLLVAC SC 15 D | 立方米/小時 | – | – | 13 | ||||
SCROLLVAC SC 30 DL | 立方米/小時 | – | – | 26 | ||||
入口抽速（氦） | 升/秒 | > 3 1 | > 3 1 | > 3 1 | ||||
漏率信號時間常數（達63%終值） | 秒 | < 1 | < 1 | < 1 | ||||
小可檢漏率 | 毫巴x升x秒-1 | 1 x 10-12 to 1 · 10-1 | 1 x 10-12 to 1 · 10-1 | 1 x 10-12 to 1 · 10-1 | ||||
測量單位（可選）壓強漏率吸槍模式 | mbar, Pa, atm, Torr mbar x l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, atm x cc x sec-1, sft3/yr ppm, g/a eq, oz/yr eq | mbar, Pa, atm, Torr mbar x l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, atm x cc x sec-1, sft3/yr ppm, g/a eq, oz/yr eq | mbar, Pa, atm, Torr mbar x l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, ppm, g/a eq, oz/yr eq | |||||
檢漏儀(yi) 啟動時間 | 分鍾 | < 2 | < 2 | < 2 | ||||
質譜儀(yi) | 180°扇形磁場 | 180°扇形磁場 | 180°扇形磁場 | |||||
離子源 | 2氧化釔/銥長效陰極 | 2氧化釔/銥長效陰極 | 2氧化釔/銥長效陰極 | |||||
可檢測質量數 | 2, 3 和 4 | 2, 3 和 4 | 2, 3 和 4 | |||||
入口 | 1 x DN 25 ISO-KF | 1 x DN 25 ISO-KF | 1 x DN 25 ISO-KF | |||||
尺寸（寬x高x深） | mm | 495 x 456 x 314 | 495 x 456 x 314 | 495 x 456 x 314 | ||||
重量 | 千克(磅) | 30 | 30 | 30 | ||||
語言 | 英語、德語、中文、日語、俄語、法語、意大利語、西班牙語、波蘭(lan) 語和朝鮮語
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