前級真空機組

萊寶羅茨泵機組WAU1001 、SV300B

油式

RUTA真空泵係統的組成，一般由WA、WS和RA型，或WAU、WSU帶內(nei) 置旁通管型的羅茨泵，以及油封式前級泵組成，用來產(chan) 生真空。

結構特點

（1)泵總體(ti) 結構型式

真空泵的泵體(ti) 的布置結構決(jue) 定了泵的總體(ti) 結構。

立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉時穩定性差，故這種型式多用於(yu) 小泵。

臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為(wei) 了真空係統管道安裝連接方便，可將排氣口從(cong) 水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從(cong) 左或右兩(liang) 個(ge) 方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低，高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。

泵的兩(liang) 個(ge) 轉子軸與(yu) 水平麵垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控製，轉子裝配方便，泵占地麵積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對複雜。

（2)泵的傳(chuan) 動方式

真空泵的兩(liang) 個(ge) 轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。主動軸通過聯軸器與(yu) 電機聯接。在傳(chuan) 動結構布置上主要有以下兩(liang) 種：其一是電動機與(yu) 齒輪放在轉子的同一側(ce) 如圖。從(cong) 動轉子由電動機端齒輪直接傳(chuan) 過去帶動，這樣主動轉子軸的扭轉變形小，則兩(liang) 個(ge) 轉子之間的間隙不會(hui) 因主動軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。這種傳(chuan) 動方式的最大缺點是：a.主動軸上有三個(ge) 軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便；b.整體(ti) 結構不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側(ce) 。萊寶羅茨泵機組WAU1001 、SV300B

特點

(1)在較寬的壓力範圍內(nei) 有較大的抽速；

(2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體(ti) 間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從(cong) 而可實現較高轉速；

(3)泵腔內(nei) 無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空係統的汙染；

(4)泵腔內(nei) 無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體(ti) 中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

(6)轉子表麵為(wei) 形狀較為(wei) 複雜的曲線柱麵，加工和檢查比較困難。

機械選擇

⑴真空泵工作時產(chan) 生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

⑵了解被抽氣體(ti) 成分，氣體(ti) 中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體(ti) 成分，針對被抽氣體(ti) 選擇相應的泵。如果氣體(ti) 中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體(ti) ，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

⑶真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產(chan) 生的全部氣體(ti) 量。

⑷正確地組合真空泵。由於(yu) 真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩(liang) 者組合起來，便會(hui) 使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低於(yu) 大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

⑸真空設備對油汙染的要求。若設備嚴(yan) 格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yan) 格，可以選擇有油泵，加上一些防油汙染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

⑹正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強範圍，如：2BV係列水環真空泵工作壓強範圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強範圍內(nei) ，泵的抽速隨壓強而變化（詳細變化情況參照泵的性能曲線），其穩定的工作壓強範圍為(wei) 760~60mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個(ge) 範圍之內(nei) 較為(wei) 適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。

⑺真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有汙染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

⑻真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：某真空幹燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高於(yu) 真空設備工作真空度半個(ge) 到一個(ge) 數量級。

⑼真空泵的價(jia) 格、運轉及維修費用。

機械安裝

⑴真空泵應安裝在地麵結實堅固的場所，周圍應留有充分的餘(yu) 地，便於(yu) 檢查、維護、保養(yang) 。

安裝原理圖

⑵真空泵底座下應保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆製安裝，確保真空泵運轉平穩，振動小。

⑶真空泵與(yu) 係統的連接管道應密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小於(yu) 真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。（焊接管路時應清除管道中焊渣，嚴(yan) 禁焊渣進入真空泵腔。）

⑷在連接管路中，用戶可在真空泵進氣口上方安裝閥門及真空計，隨時可檢查真空泵的極限壓力。

⑸按電動機標牌規定連接電源，並接地線和安裝合適規格的熔斷器及熱繼電器。

⑹真空泵通電試運轉時，須取下電機皮帶，確認真空泵轉向符合規定方向方可投入使用，以防真空泵反轉噴油。（轉向按防護罩指示方向）

⑺對於(yu) 有冷卻水的真空泵，按規定接通冷卻水。

⑻如真空泵口安裝電磁閥時，閥與(yu) 真空泵應同時動作。

⑼當真空泵排出氣體(ti) 影響工作環境時，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。